RMS系统

RMS（程序管理系统）可以实现对程序的自动上下载、比对、历史版本管理、用户审批权限等管控，提供Recipe和Recipe Body的整合管理功能。 
RMS系统可以降低人工出错率，提高产品良率、设备和人工效率。

Strip Map

Strip Map系统通过对基板、晶元进行实物二维码及图档的统一管理，自动记录不良品信息，降低成本、提高效率。
Strip Map系统生产过程中可以按照Mapping自动跳过不良品的加工，既可以降低物料消耗，又提高了生产效率。
Strip Map系统提供StripMapping和WaferMapping可追溯，对加工过程中所有物料的批次、厂家、时间等信息精确追溯。
智能化生產、数据中心、智能分析、生产日志控制、设备智能控制5大板块，通过对设备数据的实时采集，通过大数据中心的分析发布，进行生产过程的智能化管理。